TiN/TiSiN复合涂层显微结构与力学性能研究

作者：宿福利; 高见; 李洪林; 李祝; 宋之敏

来源：工具技术, 2011, 45(12): 39-43.

DOI：10.3969/j.issn.1000-7008.2011.12.011

• TiN/TiSiN复合涂层
• 微观结构
• 力学性能

采用工业用直流脉冲等离子体增强化学气相沉积(PCVD)法在硬质合金刀具基体上制备了TiN和TiN/TiSiN复合涂层.对TiN涂层和不同沉积温度下制备的三种TiN/TiSiN复合涂层的微观结构和力学性能进行了对比研究.结果表明:随着沉积温度的升高,TiN/TiSiN复合涂层的结合力增大；沉积温度为550℃时,TiN/TiSiN复合涂层的硬度和耐磨性能优于其他两种TiN/TiSiN复合涂层；复合涂层的显微硬度和耐磨性能均高于单一TiN涂层.

• 单位
  成都工具研究所有限公司; 四川大学