椭球反光镜三坐标检测与逆向分析

作者：吕少波; 王银河; 张勇喜; 刘新华; 孙朝阳; 阴晓俊

来源：光电工程, 2013, (02): 40-45.

• 椭球反光镜
• 面形偏差
• 三坐标测量
• 光斑模拟

采用三坐标测量法对磨削加工及模压热成型两种工艺的椭球反光镜进行了面形测量,与标准型线全局比对获得了椭球面形的偏差,结果表明磨削反光镜存在峰谷误差分布,而模压热成型反光镜误差曲线近似于线性分布。采用Tracepro对两种反光镜进行了应用模拟,磨削反光镜的光利用效率是模压热成型反光镜的92%。采用光学成像法观察了反光镜的出射光分布情况,磨削反光镜出射光呈现环状条纹亮暗分布,而模压热成型反光镜出射光呈现云状光强分布。