基于干涉法的反射式光栅旋转角度检测方法

作者：张文涛; 杨越越; 张玉婷; 吴萍; 熊显名; 杜浩

来源：激光与光电子学进展, 2019, 56(11): 73-78.

• 光栅
• 转角检测
• 干涉
• 衍射波前

基于多块光栅拼接理论,建立了光栅旋转角与衍射光束偏角关系的数学模型,设计了一种基于干涉法的光栅旋转角度检测光路,用Zygo干涉仪实现了光栅0级与1级衍射波前检测,并研究了反射镜安装误差引起的模型误差。实验结果表明,利用理论模型对光栅姿态在0～500μrad内调整时,光栅间栅线平行度的最大相对测量误差为3.85%。而反射镜俯仰角和偏摆角在0″～20″变化时,所引起的光栅间栅线平行度的最大相对测量误差分别为4.99%和3.77%。

• 单位
  自动化学院; 桂林电子科技大学