摘要

<正>随着全球制造业水平的不断提升,超精密加工所能达到的精度、表面粗糙度、加工尺寸范围和几何形状已经成为一个国家制造水平的重要标志之一。同时,超精密加工技术也成为高技术装备的重要支撑技术、高科技产业和科学技术的发展基础以及制造科学的发展方向。纵观其发展历程,超精密加工经历了50年代以单点金刚石切削为代表的对球面、非球面零件的加工,