压电陶瓷(PZT)作为变形镜的调节装置,虽然位移精度高,但其自身的迟滞非线性特性却给控制增加了难度,为了克服迟滞非线性的影响,实现高的系统控制精度和响应速度,文章研究了PZT的迟滞非线性建模与控制方法,提出了基于S函数的PZT迟滞非线性特征建模方法与改进的Smith预估控制算法。仿真结果表明:改进的Smith预估控制算法可以有效克服迟滞非线性特征的影响,满足高精度、快响应的实时控制需求,对于PZT控制在实际工程中应用具有指导意义。
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