硅烷流量对硅烷热CVD法制备纳米硅粉的影响分析

作者：沈长丽; 潘晓磊

来源：化工管理, 2018, (26): 148.

• 新时期
• 硅烷流量
• 硅烷热CVD法
• 纳米硅粉的制备
• 探究与分析

当前,纳米硅粉的相关研制技术和制备方法具有多样性,然而,通过运用硅烷热CVD法来制备却相较于其它方法更具独特性和自身的优势特征。基于此,笔者在本文中着重围绕着我国硅烷流量对硅烷热CVD法制备纳米硅粉的影响及其相关的问题进行了详细的分析和具体的探究,极具现实性意义。