浅析含氟电子气体相关标准现状及发展趋势

作者：徐娇; 张建君; 鬲春利; 方小青; 杜肖宾; 史婉君^*

来源：低温与特气, 2020, 38(01): 6-11.

• 含氟电子气体
• 标准
• 发展趋势

首先介绍了含氟电子气体研究现状,然后分析了含氟电子气体相关的标准情况及发展趋势。

• 单位
  浙江省化工研究院有限公司