晶体院山东公司大尺寸、大厚度CVD ZnSe晶体生长取得新突破

来源：人工晶体学报, 2023, 52(12): 2236.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2023.12.010

<正>近期，中材人工晶体研究院(山东)有限公司(简称晶体院山东公司)张福昌博士带领的研发团队在大尺寸、大厚度化学气相沉积硒化锌(CVD ZnSe) 晶体生长技术领域取得重要突破。该团队基于自主研发设计制造的CVD ZnSe大型生长装备，生长出长2 m、宽1 m、厚度30～40 mm且性能优异的硒化锌多晶材料，如图1所示。图1 长2 m、宽1 m、厚度30～40 mm硒化锌板材CVD ZnSe不仅具有优异的光学性能，