本文针对半导体物理与器件课程存在的理论性强、概念抽象、公式繁琐、知识更新速度快以及实验设备昂贵等问题，提出一种基于计算机辅助技术(TCAD)的改革方案，分别从半导体现象、工艺、器件以及先进技术等角度进行实验教学，提高教学质量。该改革方法在福建江夏学院光电信息科学与技术专业学生中进行了实践，效果良好。
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