摘要
研究了水热处理对于SnO2厚膜气敏传感器性能的影响。为了便于作对比,首先把SnO2纳米粉(平均粒径约200nm)平均分为两份:一份不经处理,直接用传统的厚膜传感器制备工艺制成气敏传感器(称为“原粉传感器”);另一份经过200℃水热处理后,用同样的工艺制备成厚膜气敏传感器(称为“预处理粉传感器”)。利用乙醇、丙酮、CH4、H2和CO气体对这两种气敏传感器的性能进行了测试,结果表明预处理粉传感器的灵敏度和选择性明显优于原粉传感器。为了分析出现这种差异的原因,我们对这两种传感器的显微结构进行了分析,并在此基础上对实验现象进行了讨论。
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单位山东大学; 晶体材料国家重点实验室