科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
本发明公开了一种基于两步法的超精密圆度测量方法及装置。为了实施基于两步法的圆度测量,首先根据位移传感器的谐波不确定度及不确定度的传播规律,预测出不同测量角度下圆度测量结果的不确定度,并找出两步法的最优测量角度；其次,操作圆度测量装置,分别在第一转台和第二转台的相对角度为0度和最优测量角度下,测量得到两组工件表面的径向跳动信号,并将此两次信号带入两步法算法以计算出被测工件的圆度。而基于两步法的圆度测量装置主要由基座、第一转台、第二转台、三爪卡盘、位移传感器和高度调节机构构成。本发明的测量装置结构简单,且采用有效的手段以抑制测量不确定度的传播,令测量不确定度达到最小,测量精度达到最高。
- 单位
