基于微加热板的三维SnO2薄膜乙醇传感器

作者：鲍钰胜; 熊大元; 徐少辉; 王连卫^*

来源：微纳电子技术, 2019, 56(07): 564-569.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2019.07.0009

• 气敏传感器
• 二氧化锡(SnO2)
• 聚苯乙烯微球
• 微加热板
• 乙醇气体

为了提高气敏传感器性能,设计并制备了玻璃基底的微加热板,包括加热电极和测试叉指电极(IDE),基于微加热板,利用聚苯乙烯(PS)微球作为掩模,使用多次光刻-剥离工艺制备三维多孔SnO2薄膜传感器,研究了有无微球和微球直径对于传感器气敏性能的影响。采用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对多孔表面形貌进行观察和表征。通过测试不同条件制备的传感器对于乙醇气体的气敏性能,得到使用直径1μm微球作为掩模制备的传感器性能更好,在约220℃的工作温度下,对体积分数为10-4的乙醇气体有3.5的灵敏度,并对传感器的重复性和线性度进行了测试。

• 单位
  华东师范大学