通过固相反应法制备ZnO压敏陶瓷,测试了ZnO压敏陶瓷的介电频率温度谱,通过介电谱详细解析了ZnO压敏陶瓷弛豫损耗峰的起源。然后通过调节工艺参数,拟合不同保温温度下ZnO压敏陶瓷的介电弛豫过程,得到了介电弛豫的过程参数,解释了氧空位和锌填隙浓度对弛豫峰的影响,为ZnO压敏陶瓷电气性能的优化提供了理论依据。