化学气相沉积法制备Co-Re涂层沉积设备设计与实验

作者：敬瑀; 龚伟; 朱黎明; 王恩泽

来源：机械设计与研究, 2019, 35(03): 195-198.

DOI：10.13952/j.cnki.jofmdr.2019.0216

• 化学气相沉积
• Co-Re合金涂层
• 道尔顿分压定律
• 设备设计

设计了Co-Re化学气相沉积设备。该设备采用两个升华室,分别以Co(acac)2和Re2(CO)10为前驱体,通过运载气体H2输运至反应室,在速射武器身管钢基体上(0CrNi2MoVA型钢材)同时沉积Co原子和Re原子,生成Co-Re合金抗烧蚀涂层。文章介绍了设备的原理和构成以及设备控制系统的设计方案,并着重介绍了利用道尔顿分压定律设计计算设备的升华室、反应室尺寸。经过初步的测试表明:该设备能够为Co-Re涂层的制备提供合适的温度与气压,并且结构简单、制造成本低,可用于Co-Re合金涂层的制备与研究。

• 单位
  西南科技大学