科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
目的 提高新疆天文台南山观测基地ZZS1800-1/G真空镀膜机的膜厚均匀性指标。方法 通过建立旋转行星夹具系统的膜厚分布模型，利用高精度数值计算，基于ZZS1800-1/G真空镀膜机，研究镀膜机结构参数与镜面几何结构对膜厚均匀性的影响，分析蒸发源位置、望远镜镜片参数与修正挡板形状的关系，并进行修正挡板的仿真设计与验证。结果 在旋转行星夹具系统中，蒸发源与原点的距离对半径较大的镜面膜厚均匀性的影响最为明显。该距离600 mm以内，在镜面半径小于100 mm时，膜厚均匀性均低于1.7%；镜面半径为600mm时，膜厚均匀性最佳，为23%。加入修正挡板后，膜厚均匀性理论计算值为0.035%。在镀半径为600mm的镜片时，为保证均匀性小于1%，修正挡板的加工形变量要控制在2.2%以内。结论 加入修正挡板可有效提高ZZS1800-1/G真空镀膜机的膜厚均匀性，本文建立的仿真模型可为ZZS1800-1/G真空镀膜机在实际镀膜工作时修正挡板的设计提供理论参考依据。
-
单位中国科学院新疆天文台
