本发明提出了一种基于磁控SMP复合薄膜驱动的微泵,包括：泵膜、泵体、扩散器、喷嘴、泵腔和基底,所述泵体由上泵体和下泵体组成,所述下泵体两侧刻蚀有扩散器和喷嘴,所述基底位于泵体的下方,所述微泵呈圆柱体结构,其内部中空；所述泵膜粘接于上泵体上；所述上泵体由双面胶和有机玻璃组成,下泵体为光刻胶,所述下泵体粘接于基底上；所述泵膜用于实现泵腔容积的扩张与收缩。本发明的微泵可集成于电子设备中,并能够快速降低大功率电子设备的温度,具有大流量、快响应的优点。
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