金刚石膜制备工艺对其应力-应变特性的影响

作者：白亦真; 吕宪义; 韩雪梅; 金曾孙; 吕天山; 白媛

来源：吉林大学学报(理学版), 2006, (05): 784-786.

DOI：10.13413/j.cnki.jdxblxb.2006.05.023

• 化学气相沉积
• 金刚石膜
• 应力-应变 chemical vapor deposition
• diamond films
• stress-strain

研究了在直流热阴极辉光放电等离子体化学气相沉积制备金刚石厚膜的工艺过程中,放电电流和甲烷浓度对金刚石膜应力-应变特性的影响规律.

• 单位
  超硬材料国家重点实验室; 吉林大学; 辽宁工学院; 工商管理学院; 大连理工大学; 长春工业大学