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摘要
为了解决晶圆制造排产系统的全局优化问题，首先考虑晶圆制造系统各设备之间的约束关系及晶圆卡等待时间成本、缓冲时间成本、搬运时间成本、设备状态转换时间成本，建立以晶圆制造整体加工时间成本最小为目标函数的数学模型；其次对遗传算法编码方式进行改进寻找较优排产顺序；最后利用MATLAB对某晶圆加工制造企业真实数据进行仿真、求解，并与经典遗传算法和蚁群算法对比。3种算法迭代过程表明，改进的双层编码遗传算法在解决晶圆制造系统的排产问题中有明显优势，求解速度更快，搜索到较优解的时间更短、更准确，验证了模型的有效性。
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单位沈阳大学
