基于MEMS技术的集成温湿传感器研制

作者：方震; 武宇; 赵湛; 张博军

来源：仪器仪表学报, 2004, S2: 123-125.

DOI：10.19650/j.cnki.cjsi.2004.s2.041

• MEMS技术
• 集成温湿传感器 MEMS Integrated temperature and humidity sensor

基于MEMS技术设计的集成温湿度传感器具有重量轻、体积小、成本低、易集成等特点,并可大大提高器件的一致性,可靠性,易形成批量生产能力。从理论上分析了利用热电原理测量空气相对湿度的可行性、集成温湿传感器的结构,以及具体测量方法。重点介绍了湿度部分的测量,证实所设计的集成传感器有良好性能。

• 单位
  中国科学院电子学研究所; 传感技术国家重点实验室