非蒸散型吸气剂泵(NEG)对N2气的抽气特性研究

作者：陈千睿; 魏萌萌; 卢耀文^*; 杨传森; 丁双; 闫睿; 杨振; 康朋伟; 陈又琦

来源：真空科学与技术学报, 2023, 43(02): 79-83.

DOI：10.13922/j.cnki.cjvst.202212010

• 非蒸散型吸气剂泵
• 抽速
• 激活
• 标准气体流量

非蒸散型吸气剂泵(NEG)是采用过渡族金属材料的吸气特性制作成的真空泵，用于超高/极高真空环境的获得及气体的纯化等方面。本文研制出吸气剂泵性能测试系统，研究了非蒸散型吸气剂泵对N2气的抽气特性，分析了影响抽气性能的因素。研制的系统采用标准流量抽速测试方法，采用固定流导法流量计提供(10-5～10-8)Pam3/s的标准气体流量，可在测试罩内获得(10-2～10-5)Pa的气体压力下实现抽速测试。实验结果表明，NEG泵激活后处于最佳抽气状态，当抽速下降之后可在超高真空条件下放置一段时间将抽速恢复至初始状态，但泵的整体抽气性能发生一定变化；当泵连续抽气时，抽速随着吸气量的增大而逐渐减小，随着泵抽气压力的增大而减小。

• 单位
  北京东方计量测试研究所