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摘要
本发明公开了一种新型FBAR滤波器及其制备方法。该方法包括：在制备衬底上刻蚀出凹槽,在凹槽内制备压电材料和底电极,在制备底电极之前首先制备一薄层种子层,制备空气腔支撑层,另取支撑衬底,将该支撑衬底与制备衬底及空气腔支撑层键合在一起,去除制备衬底,露出压电材料,在压电材料上制备顶电极,将底电极引出,得到由多个谐振器级联而成的滤波器。本发明通过先在制备衬底上挖凹槽再生长压电材料的方法,有效避免生长整层压电薄膜导致应力过大产生裂纹的问题,降低了压电薄膜的应力,同时因每个谐振单元的压电薄膜不连续,有效避免了能量的横向传输造成能量损失的问题,同时还可以有效抑制杂波,提高了滤波器的制备良率和性能。
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