氧化钛电阻存储薄膜的电学性能研究

作者：石芬

来源：合成材料老化与应用, 2021, 50(03): 83-85.

DOI：10.16584/j.cnki.issn1671-5381.2021.03.025

• 溶胶-凝胶法
• 氧化钛薄膜
• 电阻开关性能

采用溶胶凝胶法制备氧化钛薄膜,测试其电学性能,测试结果表明,氧化钛薄膜具有电阻反转特性,但重复性不稳定。使用原子力显微镜在微观状态下观察可知,随着施加电压的增大,表面析出物的量会增加,其影响薄膜的电学性能测试,会导致薄膜测试处的顶电极破坏使整个样品击穿;但表面析出物为何种物质,有待进一步研究。

• 单位
  西安航空职业技术学院