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摘要
超薄银薄膜具有高柔韧性和优良的光电性能，是用于透明导电电极的潜在材料。通过电阻热蒸发技术以金属铝作为浸润层制备超薄银透明导电薄膜。引入铝浸润层降低银薄膜的阈值厚度，使银薄膜在K9玻璃基底上以尽可能低的厚度达到连续。对不同厚度铝浸润层上银薄膜方块电阻进行测试，经SEM图像验证后得出，1 nm铝浸润层对银薄膜具有较好的浸润效果。随后采用相同的工艺在1 nm铝浸润层上制备了不同厚度的银薄膜，透过率和方阻测试结果表明，1 nm铝浸润层上制备的10 nm银薄膜方阻值可达到13Ω/，其在0.4μm～2.5μm波段内透过率可达到50%以上。
- 单位
