热处理参数对溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜特性的影响

作者：宋永梁; 季振国; 刘坤; 王超; 向因; 叶志镇

来源：Acta Physica Sinica, 2004, 53(02): 636-639.

DOI：10.3321/j.issn:1000-3290.2004.02.057

• ZnO薄膜
• 光致发光 ZnO thin film
• photoluminescence

采用溶胶 凝胶旋涂法在Si(111)衬底上生长了ZnO薄膜 ,并用荧光光谱、原子力显微镜和XRD对ZnO薄膜样品进行了分析 .结果表明 ,溶胶 凝胶旋涂法制备的ZnO薄膜为纤锌矿结构 ,其c轴取向程度与热处理温度有很大的关系 .当热处理温度小于 5 5 0℃时 ,氧化锌薄膜在室温下均有较强的紫外带边发射峰 ,而可见波段的发射很弱 ;当热处理温度高于 5 5 0℃时 ,可见波段发射明显增强 .对经过不同时间热处理的ZnO薄膜样品分析表明 ,氧化锌薄膜的荧光特性及表面形貌与热处理时间也有很大关系 ,时间过短可见波段的发射较强 ,但时间过长会导致晶粒发生团聚 ,导致紫外发射峰强度减弱

• 单位
  硅材料国家重点实验室; 浙江大学