高纯含氟电子气体国产化成功

来源：浙江化工, 2020, 51(06): 5.

<正>极大规模集成电路行业所需的高纯度气体有了新着落。"我们承担的国家科技重大专项‘极大规模集成电路制造装备与成套工艺’中的‘高纯四氟化碳和六氟化硫研发与中试’子项目,通过了国家重大专项项目组的现场测试与评审。相关产品已提交客户使用,市场应用效果良好。" 6月11日,黎明化工研究设计院有限责任公司首席技术官牛学坤表示。