钽的CVD动力学规律及显微组织

作者：魏巧灵; 蔡宏中; 陈力; 魏燕; 毛传军; 胡昌义

来源：稀有金属材料与工程, 2011, 40(05): 844-848.

• CVD
• 沉积速率
• 显微组织

简述氢气还原氯化钽化学气相沉积钽(CVD)的主要原理,研究氯化、氯气流量、氢气流量和沉积温度4个参数对沉积速率及沉积层显微组织的影响。结果表明:氯化温度对沉积速率的影响最小,沉积温度的影响最大;显微组织由小晶粒区和柱状晶区组成,沉积参数改变,柱状晶晶粒大小发生变化。

• 单位
  昆明贵金属研究所