VDMOS器件制造中的湿法工艺与设备研究

作者：宋文超

来源：电子工业专用设备, 2021, 50(06): 16-20.

• VDMOS器件
• 湿法设备
• RCA清洗
• SPM去胶
• BOE腐蚀
• 铝腐蚀

简述了VDMOS器件制造工艺流程,介绍了其中常用的RCA清洗、SPM去胶、BOE腐蚀、Al腐蚀等湿法工艺,并对相关湿法设备的配置以及工作原理进行了介绍。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十五研究所