随着多晶硅行业竞争的日益激烈,全世界大部分多晶硅生产企业均采用改良西门子法来生产多晶硅。在多晶硅生产过程中,异常沉积的情况时常发生,反应机理却不明确,因此异常沉积的情况无法有效的控制,文章通过对异常沉积的现象归纳及对体反应反应机理的分析,推测异常沉积产生的原因,从而控制还原过程异常沉积的发生,希望对相关人员有所帮助。
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