ITO/Ag/AgNW新型复合透明导电薄膜性能研究

作者：张晓东; 魏葳; 杨钊; 陈微微; 黄林泉; 田占元

来源：半导体光电, 2019, 40(02): 231-238.

DOI：10.16818/j.issn1001-5868.2019.02.017

• 透明导电膜
• ITO/Ag/AgNW
• 导电性
• 柔韧性

采用磁控溅射和湿法涂布技术制备了一种ITO/Ag/AgNW结构的新型复合透明导电薄膜。研究其光学、电学等性能发现:ITO/Ag/AgNW薄膜在400～700nm的平均透过率高于ITO/Ag/ITO薄膜,且方块电阻远小于ITO/Ag/ITO薄膜,达到6.9Ω/□;耐弯折性能测试后,其方块电阻约增加62%,达11.2Ω/□。研究结果表明,这种新型的复合透明导电薄膜具有低阻、高透及耐弯折良好的特性,在柔性显示领域具有一定的应用潜力。

• 单位
  陕西煤业化工技术研究院有限责任公司