锡掺杂对氧化锌纳米湿度传感器性能提升研究

作者：王秋蕙

来源：河南科技, 2022, 41(04): 100-103.

DOI：10.19968/j.cnki.hnkj.1003-5168.2022.04.022

• ZnO
• 湿度传感器
• 掺杂

笔者构建并研究了基于ZnO纳米结构的阻抗式湿度传感器。首先采用水热法合成了不同掺杂浓度的湿敏氧化锌纳米棒Zn1-xSnxO(x=0%,1%,3%,5%)，然后通过介电泳操作将其在微加工叉指电极之间沉积。以纳米结构的氧化锌为传感元件，将处理后的样品作为阻抗传感器进行测试。通过检测氧化锌阻抗随湿度环境变化构建阻抗式湿度传感器。结果表明，该湿度传感器具有较高的灵敏度，在提高传感性能方面有广阔的应用前景。

• 单位
  电子信息工程学院; 上海电力大学