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摘要
本发明公开了一种含有密封氢气微孔结构的类金刚石涂层及其制备方法。本发明采用全新的结构设计理念,通过控制等离子体轰击表面的离子能量范围和等离子体离化率,将类金刚石涂层中的氢以密封氢气微孔形式稳定存在于制备态涂层中,并利用这种稳定的微孔阻止裂纹的扩展,从而获得兼具高硬度和高韧性类金刚石涂层,解决了现有含氢类金刚石涂层中氢主要以形成C-H键形式存在,且其断裂严重影响材料的各种性能的问题。
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本发明公开了一种含有密封氢气微孔结构的类金刚石涂层及其制备方法。本发明采用全新的结构设计理念,通过控制等离子体轰击表面的离子能量范围和等离子体离化率,将类金刚石涂层中的氢以密封氢气微孔形式稳定存在于制备态涂层中,并利用这种稳定的微孔阻止裂纹的扩展,从而获得兼具高硬度和高韧性类金刚石涂层,解决了现有含氢类金刚石涂层中氢主要以形成C-H键形式存在,且其断裂严重影响材料的各种性能的问题。
