涡轮分子泵多级组合叶列模拟算法的比较研究

作者：孙坤; 张世伟^*; 韩峰; 赵凡; 张志军; 韩进

来源：真空与低温, 2020, 26(01): 82-86.

DOI：10.3969/j.issn.1006-7086.2020.01.013

• 涡轮分子泵
• 多级组合叶列
• 算法
• 传输概率
• 比较研究

针对小型涡轮分子泵对涡轮叶片的精准设计提出的更高要求,从入射方向分布和入射位置分布的角度,对比分析了传统单级叶列算法和多级动静组合叶列算法之间的差异,发现传统单叶列算法存在一定的原理性误差。以1～4级组合叶列为例,采用不同模拟算法分别对传输概率、最大何氏系数和最大压缩比进行比较研究,与多级动静组合叶列算法相比,采用传统单级叶列算法对涡轮叶列的抽气性能的计算值偏大10%左右。提出的基于动静叶列多级组合算法,是对传统算法的继承和发展,为涡轮分子泵的精准设计提供了一种新的理论计算方法。

• 单位
  东北大学; 自动化学院