大质量数四极质谱计技术研究

作者:陈联; 冯天佑; 王海斌; 王星辉; 邱云涛; 郭文; 赵澜; 成永军
来源:真空与低温, 2022, 28(04): 484-489.

摘要

大质量数四极质谱计主要用于密闭有人环境中微量有毒、有害气体的检测。基于质量数范围1~1 024 amu、绝对分辨本领1 amu的需求,进行了大质量数四极质谱计关键参数设计分析,完成了总体方案设计和测试分析。测试结果表明,该四极质谱计的质量数范围覆盖1~1 024 amu的设计参数,最佳分辨本领可以达到1 amu以下。