C型MEMS平面微弹簧弹性系数研究

作者：吴鹏飞; 张国俊; 钟志亲; 戴丽萍; 王姝娅

来源：压电与声光, 2012, (03): 470-472.

• 微机电系统(MEMS)
• 平面微弹簧
• 弹性系数
• 有限元方法 MEMS
• planar microspring
• elastic coefficient
• finite element method(FEM)

设计了一种新型的C型微机电系统(MEMS)平面微弹簧,用卡氏第二定律和胡克定律推导出这种平面微弹簧在3个方向(即x,y和z方向)上的弹性系数计算公式,用ANSYS进行有限元仿真,结果验证了公式推导的正确性。在公式计算和仿真的基础上,研究了各种结构参数对其弹性系数的影响规律。

• 单位
  电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 电子科技大学