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摘要
探究了引线键合工艺的重要参数对功率器件键合可靠性的影响机制，进而优化超声引线键合工艺参数。采用单参数变化实验设计方法，改变超声功率、键合压力、键合时间等关键参数制备芯片，利用拉断力测试方法表征引线键合的质量，研究工艺参数与键合质量的映射关系，分析其影响机理；进一步利用正交实验得到引线键合关键工艺参数的优化配方。实验结果表明，当超声功率210 mW、键合时间80 ms和键合压力3.4 N时，可得到较好的键合可靠性和数据收敛性。而且，参数中超声功率对键合可靠性的影响最大，键合压力次之，而键合时间的影响不显著。
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