摘要

以采用微波等离子CVD法合成金刚石现场设备的数据采集和通信为研究内容,设计基于Modbus/TCP协议与RS-485通信协议的数据采集与通信系统。系统以西门子S7-1200PLC为控制内核,微波发生器GMP G4以及质量流量计FCST1000作为硬件核心。通过分析Modbus/TCP协议的报文结构以及RS-485通信协议的数据传输帧格式,在西门子TIA portal软件中进行程序设计,实现PLC对微波电源以及质量流量计的数据采集与通信。经现场运行表明,该系统稳定可靠,能够满足设计要求。

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