薄板气浮支承系统弹性稳压装置

作者:黄斌; 马运杰; 王雪建; 许智
来源:2020-12-31, 中国, ZL202011627794.6.

摘要

本发明公开了薄板气浮支承系统弹性稳压装置,包括薄板、气浮台,所述气浮台下表面上设置有若干个正压供气口、稳压腔腔体和负压吸气口,所述气浮台上表面上设置有分别贯通正压供气口、稳压腔腔体、负压吸气口的正压供气节流孔、稳压腔节流孔、负压吸气节流孔,所述稳压腔腔体内设置有阻尼器,所述气浮台下表面的稳压腔腔体的腔口处设置有弹性薄膜。本发明薄板气浮支承系统弹性稳压装置,设计巧妙,结构紧凑,能够显著降低弹性薄板的振动,提高薄板气浮支承系统的稳定性,效果明显。