UV LIGA技术在毫米波太赫兹器件中的应用进展

作者：李含雁; 冯进军

来源：太赫兹科学与电子信息学报, 2018, 16(05): 776-780.

• 紫外光刻电铸和微成型
• 高频结构
• 毫米波太赫兹器件

采用紫外光刻电铸和微成型(UV LIGA)技术制造太赫兹真空器件的高频结构,频率为94～220GHz。对于94GHz高频结构,尺寸误差≤15μm,采用此高频结构的脉冲行波管输出功率大于100W;180GHz高频结构,尺寸误差≤5μm,采用此高频结构的太赫兹行波管二倍频器输出功率高于100 mW,带宽为11.4GHz;220GHz高频结构,尺寸误差≤3μm,衰减因子为240 dB/m。UV LIGA技术在太赫兹真空器件中的成功应用,不但为毫米波太赫兹器件研制奠定了基础,同时也为UV LIGA技术在设计制造毫米波太赫兹器件领域,包括有源和无源器件,开辟了一番新天地。

• 单位
  中国电子科技集团公司第十二研究所