一种富Al刚玉结构Al-Cr-O薄膜及其制备方法

作者：邱万奇; 万健; 焦东玲; 钟喜春; 刘仲武

来源：2020-04-14, 中国, CN202010289300.1.

本发明属于金属及其氧化物涂层技术领域,公开了一种富Al刚玉结构Al-Cr-O薄膜及其制备方法。首先在Ar气条件及基体温度为540～560℃利用直流磁控溅射纯Cr靶制备纯Cr过渡层,然后给基体施加-150～-100V范围内的脉冲直流负偏压,通入O-2分压为10～12.5％的Ar+O-2混合气体,调节基体温度为540～560℃,利用射频磁控溅射Al-(70)Cr-(30)合金靶反应沉积,得到富Al刚玉结构Al-Cr-O薄膜。所得薄膜由α-Al-2O-3和α-(Al,Cr)-2O-3相组成,最高Al含量可达39.9wt％。

• 单位
  华南理工大学