c面白宝石衬底表面形貌对气相传输平衡法制备的γ-LiAlO_2层质量的影响(英文)

作者：彭观良; 李抒智; 庄漪; 邹军; 王银珍; 刘世良; 周国清; 周圣明; 徐军; 干福熹

来源：人工晶体学报, 2005, (05): 74-78.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2005.05.014

• 白宝石
• γ-LiAlO2
• 气相传输平衡
• GaN
• 衬底 sapphire
• γ-LiAlO2
• vapor transport equilibration(VTE)
• GaN
• substrate

采用气相传输平衡(VTE)技术,在(0001)面白宝石衬底表面上成功地制备出单相-γL iA lO2层。研究了白宝石衬底表面形貌对-γL iA lO2层质量的影响,发现白宝石衬底的表面粗糙度和退火处理是两个影响-γL iA lO2层质量的重要因素。要制备高质量的-γL iA lO2层,适度的表面粗糙度是恰当的。对白宝石衬底进行退火处理,-γL iA lO2层的择优取向变差。并对其中可能的机理进行了探讨。

• 单位
  中国科学院研究生院; 中国科学院上海光学精密机械研究所