铟封接和硅硅键合技术制作微通道型固定流导元件

作者：姜彪; 于振华; 甘婧; 王永健; 孟冬辉; 李明利; 孙立臣; 王旭迪^*

来源：真空科学与技术学报, 2019, 39(04): 345-349.

DOI：10.13922/j.cnki.cjovst.2019.04.12

• 固定流导元件
• 微通道
• 硅直接键合
• 铟封接
• 分子流

提出了一种制作微通道型固定流导元件的方法,即基于硅硅直接键合将刻蚀深度约为1μm的沟槽结构密封成微通道,利用铟熔融封接技术使其与金属法兰结合构成通道型固定流导组件,使用氦质谱检漏仪对其漏率测试。测量结果表明,固定流导元件的流导测量值与理论计算值接近,相对误差不超过22.2%。氦气作为测量气体时,固定流导元件能够从高真空到30000 Pa压强下实现分子流状态,即流导恒定。

• 单位
  北京卫星环境工程研究所; 合肥工业大学