星形微波等离子体化学气相沉积装置上类金刚石薄膜的制备

作者：熊礼威; 崔晓慧; 汪建华; 翁俊; 龚国华; **

来源：武汉工程大学学报, 2013, (11): 53-58.

• 类金刚石薄膜
• 石英玻璃
• 红外透光率 diamond-like carbon film
• quartz glass
• infrared transmittance

以甲烷、氢气和氧气为反应气体,分别在镜面抛光的单晶硅片和石英玻璃基片上制备了类金刚石薄膜,并用扫描电子显微镜、激光拉曼光谱和傅立叶红外透射光谱仪等测试方法对薄膜的表面形貌、质量和光学性能进行了表征;通过对类金刚石(DLC)薄膜制备过程中碳源浓度、基片温度等参数的研究,掌握了工艺参数对薄膜性能的影响规律,并在此基础上成功地对薄膜的沉积工艺进行了优化.结果表明,当反应气体中的流量配比为甲烷∶氢气∶氧气=10∶100∶1,腔体压力和基片温度分别为0.5kPa和400℃,制备出的DLC薄膜表面光滑平整,薄膜中的纳米金刚石特征峰明显,在石英玻璃上沉积的DLC薄膜在3 000～4 000cm-1波数区间透...

• 单位
  广东生之源数码电子股份有限公司; 武汉工程大学