本文介绍了一种基于硅工艺的太赫兹三倍频器电路。利用硅工艺的多层金属结构构建传输线变压器,实现平衡式倍频结构,有效抑制偶次谐波输出。同时通过引入基波和三次谐波空闲电路,有效提高倍频效率。设计结果表明:该三倍频器在260-290GHz频段内,实现饱和输出功率大于-0.4dBm,倍频损耗小于20dB,基波抑制度大于30dB。
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