四氯化钛是钛及其化合物生产中的重要中间产品，钛工业的重要原料，有着极其广泛的应用。综述了通过除钒、蒸馏、精馏、多级精馏等方法以及这些方法的组合来制备高纯四氯化钛；阐述了在高纯四氯化钛的基础上，通过吸附、汽提、蒸馏、亚沸蒸馏、多级精馏等方法以及此类方法的组合，来制备可应用于半导体行业的超高纯四氯化钛。对超高纯四氯化钛的制备工艺进行探讨，并展望超高纯四氯化钛制备工艺的发展趋势和方向。
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