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摘要
为了研究激光诱导放电等离子体的膨胀特性,建立了一套基于脉冲CO2激光诱导锡靶放电等离子体极紫外光源装置,采用增强型电荷耦合器件对羽辉进行拍摄,并采用1维真空电弧模型对实验结果进行了理论说明。实验中改变放电电压和激光能量,得到了不同条件下时间分辨的羽辉图像。结果表明,在激光能量140mJ、放电电压10kV的条件下,获得了稳定的放电等离子体;等离子体的羽辉形态与电流存在对应关系,经历了形成、膨胀、收缩、再次膨胀和消散的不同阶段,放电电压和诱导激光能量对羽辉大小、稳定性和形成时间有影响。此研究有助于提高激光诱导放电等离子体光源的稳定性以及极紫外光的输出功率。
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