利用微运动分析仪研究MEMS器件的运动特性

作者：费杰

来源：知识文库, 2018, (11): 65.

<正>综合分析计算及控制的微运动分析仪,再研究微机电系统(MEMS)中的可动部件运动特性。微机电系统能够测量微小频率的运动特性,达到毫米级的分辨能力。本文将通过研究微加工的谐振器运动特性来说明微运动分析仪器的相应功能。微机电系统是在半导体技术之上发展过来的,所涉及到的设计技术、加工技术和封装技术等均比半导体技术更为复杂。美国实验室研究表明微机电系统的可靠性动态测试系统主要采用光学显微镜来详细记录微机电系统在不同状态之

• 单位
  南通师范高等专科学校