AFM/SCM及LBIC技术在平面型保护环结构InGaAs探测器设计中的应用(英文)

作者：李永富; 唐恒敬; 朱耀明; 李淘; 殷豪; 李天信; 李雪; 龚海梅

来源：红外与毫米波学报, 2010, (06): 401-405.

• 扫描电容显微镜(SCM)
• 激光束诱导电流(LBIC)
• 光生载流子扩散
• 保护环
• InP/InGaAs scanning capacitance microscopy(SCM)
• laser beam induced current(LBIC)
• photo-carrier diffusion
• guard-ring
• InP/InGaAs

为研究保护环结构对平面型正照射式InP/InGaAs探测器光敏元扩大现象的抑制作用,设计并研制了带有不同保护环-光敏元间距的InGaAs探测器.通过原子力显微镜(AFM)及扫描电容显微镜(SCM)获得了保护环与光敏元之间的实际距离.利用激光束诱导电流(LBIC)技术研究了带有保护环结构的InGaAs探测器的光响应特性.研究表明,无保护环结构的探测器的LBIC信号可以用指数衰减函数描述,而带有保护环结构的探测器的LBIC信号则遵从高斯分布.引入保护环结构后,器件光敏元的扩大量会随着保护环-光敏元间距的减小而线性减小.在器件设计中,比较合适的保护环-光敏元间距应介于7~12μm之间.

• 单位
  中国科学院研究生院; 中国科学院上海技术物理研究所; 红外物理国家重点实验室; 传感技术国家重点实验室