化学气相沉积反应器共振问题研究与改善

作者：陈浩

来源：江苏科技信息, 2019, 36(27): 42-70.

DOI：10.3969/j.issn.1004-7530.2019.27.011

• 化学气相沉积
• 托盘
• 旋转
• 共振

在生产过程中,化学气相沉积反应器内托负衬底的托盘由马达带动,按设定的转速以托盘中心为轴进行旋转,反应器会在马达和托盘达到某一转速附近时发生剧烈振动,即共振。生产过程中反应器的共振直接影响了衬底上沉积的薄膜质量。文章通过分析和试验,以调整地脚着地力来避开关键工艺转速时产生的共振,以减少产品报废,提高设备寿命。

• 单位
  上海交通大学