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摘要
介绍了一种基于Allen-Bradley可编程控制器的等离子体发射监控闭环控制系统;在介绍溅射镀膜工作原理的基础上,分析了影响镀膜性能的多个因素,提出了等离子体发射监控反应溅射镀膜的控制方案;进而,具体介绍了等离子体发射监控系统的传感器、执行器的结构与设计,并进行了PLC-PID控制软件的编程,实现了快速、稳定的控制功能,使反应溅射镀膜工作均匀;实际运行证明了本等离子发射监控设计合理性,可制备氮化钛、氧化钛化合物薄膜,具有良好的推广价值。
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单位哈尔滨工业大学深圳研究生院
