溅射法制备铜锌锡硫薄膜材料的经验总结

作者：高源

来源：金田, 2013, (10): 436.

• 铜锌锡硫
• CZTS
• 溅射
• 薄膜材料
• 薄膜太阳能电池
• 吸收层

本文回顾了溅射法制备CZTS的若干历史文献,并主要就元素比例、溅射顺序、靶材选择、基片温度四个方面的经验做了总结。

• 单位
  河南师范大学